1、垂直度測量原理
       垂直度測量的主要采用同一個(gè)測量基準(zhǔn)軸對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)中的每一個(gè)軸測量直線度。對(duì)兩個(gè)直線度測量值進(jìn)行比較，算出兩個(gè)軸之間的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)是直線度反射鏡的光學(xué)基準(zhǔn)軸。需要注意的是，兩次測量直線度之間既不移動(dòng)也不調(diào)整。兩次直線度測量過程中至少一次用到光學(xué)直角尺，用于將激光光束調(diào)整到與待測軸垂直。實(shí)際測量方法可以參考下圖：

 
2、測量步驟和數(shù)據(jù)處理
測量分兩步：第一步測量其中一軸的直線度，其方法跟直線度測量一樣；第二步測量另一軸的直線度，同樣的方法；最后根據(jù)上述兩個(gè)直線度測量結(jié)果，計(jì)算得到兩軸之間的垂直度誤差。
3、垂直度測量用組件
垂直度測量用到的激光干涉儀組件：
激光干涉儀測頭、直線度光學(xué)鏡組、直線度測量附件、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。
4、垂直度測量應(yīng)用
數(shù)控機(jī)床/坐標(biāo)測量機(jī)主軸垂直度誤差測量
機(jī)床X、Y軸垂直度對(duì)準(zhǔn)
坐標(biāo)機(jī)上垂直軸和水平軸之間的垂直度測量