Information in English:

LH1000 Dual-frequency Interferometer.pdf

Nonlinear error analysis and experimental measurement of Birefringence-Zeeman dual-frequency laser interferometer.pdf

專為光刻機(jī)配套開發(fā)的高精度測(cè)量系統(tǒng)；

通過(guò)國(guó)家重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝”項(xiàng)目驗(yàn)收。

采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器；

非線性高精密測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量更精準(zhǔn)；

可提供1~20MHz頻差內(nèi)任意頻差產(chǎn)品，滿足各種測(cè)量速度需要。

光源和測(cè)量信號(hào)接收單元分體式設(shè)計(jì)，方便搭建XY位移臺(tái)等多軸測(cè)量系統(tǒng)；

精巧的測(cè)量信號(hào)光纖接收頭，即使空間狹小也能方便安裝；

標(biāo)準(zhǔn)光刻機(jī)干涉儀安裝尺寸和數(shù)據(jù)接口，可直接替換現(xiàn)有產(chǎn)品。

（欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點(diǎn)和差異，請(qǐng)閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的：雙頻激光干涉儀）

注：可根據(jù)需求定制更小頻差范圍。

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。

LH1000雙頻激光干涉儀應(yīng)用于尼康光刻機(jī)后，其工作臺(tái)精度由原來(lái)的23nm提高到6nm！

鐳測(cè)激光精密測(cè)量產(chǎn)品手冊(cè)-2024.3.pdf