進(jìn)口激光干涉儀具有測量速度快、精度高的優(yōu)點(diǎn)，是校準(zhǔn)數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)和其他定位設(shè)備精度和線性指標(biāo)的常用標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，掌握激光干涉儀的使用技術(shù)，使測量工作倍增。

 在激光干涉線性測量中，與x、y軸準(zhǔn)直相比，z軸測量中激光光路的準(zhǔn)直更加困難。特別是在z軸距長的情況下，為了保證激光束在反射鏡反射后返回激先探測器的強(qiáng)度滿足測量對光強(qiáng)的要求，準(zhǔn)直激光光路通常需要很長時(shí)間。

 軸光路快速準(zhǔn)直方法具體如下：Z軸位于低端，利用激光外殼中間的瞄準(zhǔn)槽，將分光鏡放在Z軸上，向左、向左、向左移動，觀察激光光路，確保激光轉(zhuǎn)向后與Z軸大致平行，向左、向右移動，使之與Z軸平行。

 進(jìn)口激光干涉儀初步調(diào)節(jié)后，固定分光鏡，安裝在分光鏡上，通過整體調(diào)節(jié)精確瞄準(zhǔn)光靶后，取下分光鏡光靶，使Z軸上升，觀察激光在反光鏡光靶上的偏差，同時(shí)通過整體調(diào)節(jié)使激光對準(zhǔn)目標(biāo)，再進(jìn)行整體調(diào)節(jié)。

選擇輔助工具。

雖然進(jìn)口激光干涉儀的安裝部件相對齊全，但在實(shí)際使用過程中需要額外配置一些輔助工具:

1.低高度云臺架的開發(fā)。

一些機(jī)床工作臺的高度基本上與地面平行，因此在測量Z軸時(shí)，如果將激光放置在地面上的原始三角架和云臺面上，由于三角架本身的高度，測量范圍肯定會丟失。

2.選擇磁基。

磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時(shí)要注意，表座工作面必須有螺孔與安裝鏡組安裝桿配合，將主磁吸面位于底部和側(cè)面的磁吸面分別選擇兩種(實(shí)驗(yàn)室或工廠多采用主磁吸面位于底面的表座)，在測量時(shí)，往往側(cè)吸的表座更有利于激光干涉儀的安裝。

3.鏡組使用靈活。

該儀器包括線性測量鏡、角度測量鏡、平面度測量組、直線度測量組、垂直度測量鏡、激光準(zhǔn)直輔助鏡等。在實(shí)際使用中，可以結(jié)合一些功能不同的鏡組來滿足測量需求。