在實(shí)踐中,激光干涉儀有兩個(gè)特點(diǎn)。
這是一種以光波為載體的激光干涉系統(tǒng)。它被認(rèn)為是一種高精度、高靈敏度的測量儀器,廣泛應(yīng)用于制造業(yè)。
應(yīng)用激光干涉測量:
激光干涉儀采用多種光學(xué)鏡組合,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平直度、平直度等幾何參數(shù)的高精度測量。
激光干涉儀結(jié)合動(dòng)態(tài)測試軟件,可實(shí)現(xiàn)位移線、線角、直線度的動(dòng)態(tài)測量和性能測試,并可動(dòng)態(tài)分析位移、速度、加速度、幅度和頻率。
產(chǎn)品特性。
精度:
激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,可以直接用光波定義米。采用激光雙頻熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、高抗干擾、長期穩(wěn)定的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,激光波長和激光材料可自動(dòng)補(bǔ)償;與主機(jī)分體設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
特征范圍:
1.線性、角度、直線、垂直、平行、平面、旋轉(zhuǎn)軸等幾何參數(shù)的高精度測量。
2.可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備導(dǎo)軌的線性定位精度和重復(fù)定位精度,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭角、直線度和垂直度。
3.實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量。
4.實(shí)現(xiàn)機(jī)床旋轉(zhuǎn)軸的測量和校準(zhǔn)。
5.根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式,誤差補(bǔ)償表可以自動(dòng)生成,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。
6.它具有動(dòng)態(tài)測試和分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等。,可用于振動(dòng)分析、導(dǎo)軌動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)響應(yīng)特性分析等。
7.人工或自動(dòng)支持環(huán)境補(bǔ)償。
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